mc系列层流质量流量控制器

高品质配套过程控制的质量流量控制器

小流量：0.1SCCM     大流量：5000SLPM

MC系列层流质量流量控制器与SC系列层流质量流量控制器的区别在于没有触摸式显示屏，基于压力式的层流压差技术，不受制于来流状态的影响，配合高精度压力、温度传感器实现**压力、温度补偿，使得产品在较宽的温度、压力范围内迅速达到流量设定值，保障了测量的精度和控制的稳定性。模拟信号和数字信号的通讯方式，适用于配套过程控制的客户。